工業廢氣催化燃燒裝置有機廢氣先通過干式過濾，將廢氣中顆粒狀污染物截留去除，然后進入吸附床進行吸附，利用蜂窩狀活性炭將有機溶劑吸附在活性炭表面，處理后的潔凈氣體經過風機、煙囪高空排放。活性炭經過吸附運行一段時間后達到飽和，啟動系統的脫附催化燃燒過程，通過熱氣流將原來已經吸附在活性炭表面的有機溶劑脫附出來，并經過催化燃燒反應轉化成二氧化碳和水蒸氣等無害物質，并放出熱量，反應產生的熱量經過熱交換部分回用到脫附熱氣流中，當脫附達到一定程度時釋放熱，使脫附加熱達到平衡，系統在不借助外加熱的情況下完成脫附再生過程。

在催化燃燒過程中,催化劑的作用是降低反應的活化能,同時使反應物分子富集于催化劑表面,以進步反應速率。借助催化劑可使有機廢氣在較低的起燃溫度前提下發生無焰燃燒,并氧化分解為CO2 和H2O,同時放出大量熱量。

工業廢氣催化燃燒裝置工藝流程可分為3種：

1、預熱式。

預熱式是催化燃燒的最基本的流程形式，其基本原理見圖1。有機廢氣溫度在100℃以下、濃度也較低時，熱量不能自給，因此在進入反應器前需要在預熱室加熱升溫。通常采用煤氣或電加熱將廢氣升溫至催化反應所需的起燃溫度；燃燒凈化后的氣體在熱交換器內與未處理的廢氣進行熱交換，以回收部門熱量。

2、自身熱平衡式。

有機廢氣溫度高且有機物含量較高，通常只需要在催化燃燒反應器中設置電加熱器供起燃時使用，通過熱交換器回收部門凈化氣體所產生的熱量，正常操縱下就能夠維持熱平衡，不需要增補熱量，其流程見圖2. 

3、吸附-催化燃燒。

當有機廢氣的流量大、濃度低、溫度低、采用催化燃燒需消耗大量的燃料時，可先采用吸附手段將有機廢氣吸附于吸附劑上并進行濃縮，然后通過熱空氣吹掃，使有機廢氣脫附成為高濃度有機廢氣（可濃縮10倍以上）后再進行催化燃燒。