低溫等離子廢氣凈化設備在外加電場的作用下，介質放電產生的大量攜能電子轟擊廢氣分子，使其電離、解離和激發，然后便引發了一系列復雜的物理、化學反應，使復雜大分子污染物轉變為簡單小分子安全物質，或使有毒有害物質轉變成無毒無害或低毒低害的物質，從而使污染物得以降解去除。

廢氣先經均流板過濾棉進入設備時，由設備高壓穩定高頻放電，瞬間產生1.5萬伏特至2萬伏特高壓，擊穿廢氣。此階段中，長鏈、多鏈廢氣分子由于鍵能較弱，約束力較小。很容易被擊穿化學鍵破裂，從而變成小分子化合物，此為一階段凈化。其次，隨廢氣進入設備的水分子、氧分子被高壓擊穿斷裂，生成強氧化基團羥基、臭氧分子等。這些強氧化基團與廢氣分子充分接觸氧化，加快反應進程。整個反應干凈，能量利用率高，凈化效率非常高。

低溫等離子廢氣凈化設備優點：

1、介質阻擋放電產生的低溫等離子體中，電子能量高，幾乎可以和所有的惡臭氣體分子作用。

2、反應快，不受氣速限制。

3、采用防腐蝕材料，電極與廢氣不直接接觸，根本上解決了設備腐蝕問題。

4、只需用電，操作簡單，無需派專職人員看守，基本不占用人工費。

5、設備啟動、停止十分迅速，隨用隨開，不受氣溫的影響。

6、氣阻小，工藝成熟。

等離子廢氣凈化設備電子先從電場獲得能量，通過激發或電離將能量轉移到污染物分子中去，那些獲得能量的污染物分子被激發，同時有部分分子被電離，從而成為活性基團。然后這些活性基團與氧氣、活性基團與活性基團之間相互碰撞后生成穩定產物和熱。

另外，高能電子也能被鹵素和氧氣等電子親和力較強的物質俘獲，成為負離子。這類負離子具有很好的化學活性，在化學反應中起著重要的作用。